发明名称 一种光配向掩膜版
摘要 本实用新型提供一种光配向掩膜版,其包括曝光区域和非曝光区域,其中曝光区域有四个曝光图形,非曝光区域有条形码、特征码,其特征在于:非曝光区域还包括第一刻度尺和第二刻度尺。本实用新型通过提供一种具有刻度尺的掩膜版,可迅速找到掩膜版刮伤位置,缩短故障检出时间,提高生产效率。
申请公布号 CN203882088U 申请公布日期 2014.10.15
申请号 CN201420288336.8 申请日期 2014.05.30
申请人 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 发明人 刘濂;盛科;王永刚;汤雅芸;王海宏;焦峰
分类号 G03F1/44(2012.01)I;G02F1/1337(2006.01)I 主分类号 G03F1/44(2012.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种光配向掩膜版,其包括曝光区域和非曝光区域,其中曝光区域有四个曝光图形,非曝光区域有条形码、特征码,其特征在于:非曝光区域还包括第一刻度尺和第二刻度尺。
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