臭氧气体供给系统

摘要

本发明之目的系获得一臭氧气体供给系统，其系搭载于放电面涂布用以生成臭氧之光触媒物质之无添加氮之臭氧产生器(1)，且对于各臭氧处理装置可供给信赖性高之臭氧气体。接着，本发明特别是在原料气体供给部设置将原料气体所含水分去除之手段(59)，以降低供给至臭氧气体供给系统之原料气体所含水分量，且接受来自复数无添加氮之臭氧产生单元(7-1至7-n)之复数臭氧气体输出，藉由内部设置之复数臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)之开闭动作，以单一或组合复数臭氧气体输出，选择性的输出至复数臭氧处理装置(12-1至12-n)中任意的臭氧处理装置，且具有可控制臭氧气体输出流量之臭氧气体输出流量管理单元(9)。

主权项

一种臭氧气体供给系统，系控制气体流量、浓度且将臭氧气体分别供给至复数个臭氧处理装置之臭氧气体供给系统，具备：使用氮添加量在1000ppm以下之高纯度氧原料气体之复数个无添加氮之臭氧产生单元、前述复数之无添加氮之臭氧产生单元具备：无添加氮之臭氧产生器，系在放电面涂布用以产生臭氧之光触媒物质而产生臭氧者；及臭氧电源，系控制供给至前述无添加氮之臭氧产生器的电力者；及质量流动控制器(MFC)，系控制输入前述无添加氮之臭氧产生器的原料气体之流量者；及自动压力控制器(APC)，系自动控制前述无添加氮之臭氧产生器内的压力之内部压力者；及臭氧浓度计，系检测由前述无添加氮之臭氧产生器所输出臭氧气体的臭氧浓度值者；及臭氧控制部，系用预定之设定电量驱动前述臭氧电源作为初期动作，且在预定时间后用前述臭氧浓度计检测臭氧浓度，并依据此臭氧浓度与预定之臭氧浓度之比较结果，对前述臭氧电源所供给之电力进行PID控制者；前述臭氧气体供给系统复具有：臭氧气体输出流量管理单元，系根据由前述复数无添加氮之臭氧产生单元内的复数个前述无添加氮之臭氧产生器输出之复数之臭氧气体，藉由设置在内部之复数个臭氧气体控制阀之开闭动作，以单一或复数组合之前述复数之臭氧输出，而选择性的输出至前述复数臭氧处理装置中之任意臭氧处理装置之可实行臭氧气体输出流量控制者；臭氧输出流量管理单元控制部，系根据来自前述复数臭氧处理装置之臭氧气体处理事件讯号，控制前述复数个无添加氮之臭氧产生单元个别之前述臭氧气体的输出内容，对前述臭氧气体输出流量管理单元进行前述臭氧气体输出流量的控制者；及至少一个水分滤除器以去除由预定之原料气体供给口供给之原料气体所含之微量水分，且将气体分别供给至前述无添加氮之臭氧产生单元者。