曝光装置用之光照射装置及其点亮控制方法、曝光装置及基板

摘要

本发明提供一种可对应于必需之照度且抑制消耗电力，并且可容易地控制光源部之曝光装置用之光照射装置及其点亮控制方法、曝光装置及基板。光学控制部76包含匣盒81内之特定数量之光源部73中所要点亮之光源部73的数量不同之复数个点亮图案群，并且各点亮图案群各自包含由光源部73以点对称点亮之复数个点亮图案A1~D1、A2~D2、A3~D3。又，光学控制部76控制复数个匣盒81之特定数量之光源部73以同一点亮图案且以点对称点亮，藉此使所有的光源部73以点对称点亮。

主权项

一种曝光装置用之光照射装置，其特征在于，包括：复数个光源部，其各自包含发光部以及使自该发光部所产生之光具有指向性而射出之反射光学系统；复数个匣盒，其各自可安装特定数量之上述光源部；框架，其可安装该复数个匣盒；以及控制部，其控制上述复数个光源部之点亮或熄灭；上述匣盒包含支持上述特定数量之光源部的光源支持部；上述框架包含各自安装上述复数个匣盒之复数个匣盒安装部；上述复数个匣盒安装部各自包含上述匣盒之光源支持部所面对之开口部、与形成于该光源支持部之周围的平面部抵接之平面、以及以该平面为底面之匣盒用凹部；于上述匣盒用凹部之周围，设置有用以固定上述匣盒之匣盒固定机构；且上述控制部系以使上述各匣盒内之上述特定数量之光源部以点对称点亮之方式进行控制。