System eines fokussierten lonenstrahls

摘要

Ein System eines fokussierten Ionenstrahls umfasst eine Gasfeld-Ionenquelle, welche Gasionen erzeugt, eine Ionen-Beschuss-Einheit, welche die Gasionen beschleunigt und die Gasionen als einen Ionenstrahl abstrahlt, ein Strahl-Optiksystem, welches wenigstens eine fokussierende Linsenelektrode umfasst und den Ionenstrahl auf eine Probe abstrahlt, und einen Bilderfassungs-Mechanismus, welcher ein FIM-Bild von einer Spitze eines Emitters basierend auf dem Ionenstrahl erlangt. Der Bilderfassungs-Mechanismus umfasst eine Ausricht-Elektrode, welche zwischen der Ionen-Beschuss-Einheit und der fokussierenden Linsenelektrode angeordnet ist und eine Bestrahlungsrichtung des Ionenstrahls einstellt, eine Ausricht-Steuereinheit, welche eine Ausricht-Spannung an die Ausricht-Elektrode anlegt, und eine Bildverarbeitungs-Einheit, welche eine Mehrzahl von FIM-Bildern, welche erlangt werden, indem unterschiedliche Ausricht-Spannungen angelegt werden, zusammenfasst, um ein zusammengefasstes FIM-Bild zu erzeugen.