| 发明名称 | 玻璃基板的研磨方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种玻璃基板的研磨方法，将研磨液供给至玻璃基板与研磨垫之间并对玻璃基板进行研磨，所述研磨方法的特征在于，所述研磨液为二氧化铈浆料，在供给至所述玻璃基板与所述研磨垫之间时，所述研磨液的温度为20℃以下。 | ||
| 申请公布号 | CN104093525A | 申请公布日期 | 2014.10.08 |
| 申请号 | CN201380007078.X | 申请日期 | 2013.03.06 |
| 申请人 | 旭硝子株式会社 | 发明人 | 河内辰朗;城山厚;小暮祐二;布施步 |
| 分类号 | B24B37/015(2012.01)I;B24B7/22(2006.01)I;B24B37/00(2012.01)I | 主分类号 | B24B37/015(2012.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 于洁;王海川 |
| 主权项 | 一种玻璃基板的研磨方法，将研磨液供给至玻璃基板与研磨垫之间并对玻璃基板进行研磨，所述研磨方法中，所述研磨液为二氧化铈浆料，在供给至所述玻璃基板与所述研磨垫之间时，所述研磨液的温度为20℃以下。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||