半导体静电吸附装置

摘要

一种半导体静电吸附装置，包括吸附模块，吸附模块接通正负电极，并形成有电场吸附区，吸附模块的进风侧设置有放电针，放电针接通正负电极，并形成电场极化区，空气中的吸附物经过放电针的电场极化区后带上电荷，并随着气流进入吸附模块的电场吸附区后吸附。本发明设置有包裹半导体石墨电极的绝缘塑料吸附片,通过吸附片的尖端靠拢,产生均匀的电磁场，电磁场吸附面积通过尖端微电流的作用，不但让电磁场产生更均匀，还增加了吸附面积，吸附模块输入的直流高压远远小过现有技术的高压，不但节能环保，在电场均匀度同等情况下还能增大吸附面积，另外本装置完全无臭氧产生,只是单纯的吸附颗粒物,而且可以多次循环使用，实用性强。

主权项

一种半导体静电吸附装置，包括吸附模块(1)，其特征在于：吸附模块(1)接通正负电极，并形成有电场吸附区(2)，吸附模块(1)的进风侧设置有放电针(3)，放电针(3)接通正负电极，并形成电场极化区(4)，空气中的吸附物经过放电针(3)的电场极化区(4)后带上电荷，并随着气流进入吸附模块(1)的电场吸附区(2)后吸附。