一种消除连接孔刻蚀副产物凝结缺陷的晶圆净化设备

摘要

本发明公开了一种消除连接孔刻蚀副产物凝结缺陷的晶圆净化设备，用于在晶圆进行连接孔刻蚀后、进行清洗之前，对晶圆进行净化处理，通过在晶圆净化设备的腔体内按不同的方向分别设置喷射枪，可同时向旋转的晶圆支撑台上的晶圆喷射净化气体，并通过腔体上方穹顶形状的内壁中心的抽气管将腔体内的净化后气体及其携带的刻蚀副产物抽出，还可通过喷射枪设有的气体搅动装置或喷嘴，来进一步增强净化的效果，因此，应用本发明的晶圆净化设备既可避免对晶圆、特别是对CD造成损伤，又可实现去除晶圆粘附的刻蚀副产物，从而消除了刻蚀副产物在等待清洗过程中与水反应产生的凝结物缺陷。

主权项

一种消除连接孔刻蚀副产物凝结缺陷的晶圆净化设备，其特征在于，所述晶圆净化设备用于在所述晶圆进行连接孔刻蚀后、进行清洗之前，对所述晶圆进行净化处理，去除所述晶圆粘附的刻蚀副产物，以消除刻蚀副产物与水反应产生的凝结物缺陷，所述晶圆净化设备包括：腔体，所述腔体形成用于所述晶圆净化的密闭空间，所述腔体具有穹顶形状的上方内壁，所述腔体设有所述晶圆的传输窗口；喷射枪，包括活动设于所述腔体内上方的一顶部喷射枪和设于所述腔体内侧面的一侧壁喷射枪，所述喷射枪连通所述净化设备外部的净化气源，所述顶部喷射枪和所述侧壁喷射枪按不同的方向设置，可分别从不同方向向放置在所述腔体内的所述晶圆喷射净化气体，对所述晶圆进行净化处理；所述喷射枪设有气体搅动装置或喷嘴；晶圆支撑台，转动设于所述腔体内下方，用于承载所述晶圆，所述支撑台位于所述顶部喷射枪和所述侧壁喷射枪的下方；抽气管，所述抽气管的抽气口设于所述腔体上方内壁的中心部位，并与所述腔体内壁平齐，所述抽气管连通所述净化设备外部的气体回收装置，所述抽气管可将所述腔体内的净化后气体及其携带的刻蚀副产物抽出，并排向所述气体回收装置。