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<p>Ein Gaslaseroszillator umfasst eine Entladeröhre, die in einem Gaskanal vorgesehen ist, durch den ein Lasergas zirkuliert; einen Ausgabebefehlsabschnitt, der einen Stromausgabebefehl ausgibt; einen Stromzufuhrabschnitt, der an die Entladeröhre eine Entladeröhrenspannung anlegt, die einem Stromausgabebefehlswert entspricht; eine Spannungserfassungseinrichtung, die die Entladeröhrenspannung erfasst; und einen Entladebeginnbeurteilungsabschnitt, der beurteilt, ob eine Entladung in der Entladeröhre begonnen wurde, auf der Grundlage eines Verhältnisses der Änderung der Entladeröhrenspannung. Der Ausgabebefehlsabschnitt erhöht den Stromausgabebefehlswert in Stufen um ein Inkrement, das erlangt wird durch Teilen eines Stromausgabebefehlswerts, der einer Entladebeginnspannung entspricht, die als eine vorbestimmte Referenz dient, durch eine Anzahl von Stufen von zwei oder mehr, bei einem Stufenzeitintervall, das unter Verwendung der Zeit als eine Referenz bestimmt wird, die erforderlich ist, bis der Stromzufuhrabschnitt auf den Stromzufuhrbefehl reagiert.</p> |
