| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abtragen von sprödhartem Material mittels Laserstrahlung, bei dem sich durch den Abtrag eine Abtragsvertiefung mit einem Flankenwinkel w der Flanken der Abtragsvertiefung in dem Material ausbildet, wobei der Flankenwinkel w als der Winkel zwischen der Oberflächennormalen auf der Abtragsvertiefung und der Oberflächennormalen auf der nicht abgetragenen Oberfläche des Materials definiert ist, wobei während des Abtragens der Flankenwinkel w einen materialspezifischen Grenzwinkel wmax überschreitet, das dadurch gekennzeichnet ist, dass der Strahlradius der Laserstrahlung am Eintritt der Abtragsvertiefung so klein eingestellt wird, dass der Flankenwinkel w nahezu 90 Winkelgrade erreicht und die erreichbare Abtragstiefe mindestens um den Faktor 2 größer wird als für einen größeren Strahlradius, bei dem der Flankenwinkel kleiner als der materialspezifische Grenzwinkel wmax ist. |
