感光化射线性或感放射线性树脂组成物、感光化射线性或感放射线性膜及图案形成方法;ACTINIC-RAY OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, ACTINIC-RAY OR RADIATION-SENSITIVE FILM, AND METHOD OF FORMING PATTERN

摘要

本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组成物含有：(A)含有酸分解性重复单元且藉由酸的作用而极性变化的树脂、及(B)藉由光化射线或放射线的照射而产生酸的化合物，并且由上述藉由光化射线或放射线的照射而产生酸的化合物(B)所产生的酸的LogP值为3.0以下，且上述酸的分子量为430以上。