发明名称 图像传感器及其制造方法
摘要 一种图像传感器及其制造方法,包括半导体衬底、光学传感器件、像素读出电路,其特征在于,半导体衬底包括支撑衬底、以及依次覆盖在所述支撑衬底表面的第一绝缘埋层、第一半导体层、第二绝缘埋层和第二半导体层;其中,第一半导体层和第二半导体层厚度不同,光学传感器件位于较厚的半导体层,像素读出电路位于较薄的半导体层。本发明的图像传感器具有较高的光吸收效率,电路具有高速、低功耗、抗闩锁的优良性能,同时还具有抗高能粒子辐射的能力。
申请公布号 CN102522416B 申请公布日期 2014.10.01
申请号 CN201110455382.3 申请日期 2011.12.30
申请人 中国科学院上海高等研究院 发明人 方娜;汪辉;陈杰
分类号 H01L27/146(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 上海一平知识产权代理有限公司 31266 代理人 成春荣;竺云
主权项 一种图像传感器,包括半导体衬底、光学传感器件、像素读出电路,其特征在于,所述半导体衬底包括支撑衬底、以及依次覆盖在所述支撑衬底表面的第一绝缘埋层、第一半导体层、第二绝缘埋层和第二半导体层;其中,第一半导体层和第二半导体层厚度不同,所述光学传感器件位于较厚的半导体层,所述的像素读出电路位于较薄的半导体层。
地址 201203 上海市浦东新区海科路99号
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