三轴磁场感测器、制作磁场感测结构的方法与磁场感测电路;3-AXIS MAGNETIC FIELD SENSOR, FABRICATION METHOD OF MAGNETIC SENSING STRUCTURE AND MAGNETIC FIELD SENSING CIRCUIT

摘要

一种三轴磁场感测器，包括：具有第一易轴且感测X轴磁场的第一穿隧式磁电阻器；具有第二易轴且感测Y轴磁场的第二穿隧式磁电阻器；感测Z轴磁场的出平面磁场感测器；及参考单元。第一易轴与第二易轴为垂直，并分别与一平分方向的夹角为45±5度。出平面磁场感测器包括：具有第一斜面与第二斜面的凹槽或凸块结构；第三穿隧磁式电阻器位在第一斜面且具有第三易轴；第四穿隧式磁电阻器位在第二斜面上且具有第四易轴；一中轴与平分方向垂直且与第三易轴和第四易轴平行。参考单元具有第五穿隧磁式电阻器及与平分方向平行的第五易轴。