乾式帮浦之多段式真空帮浦;MULTI-STAGE VACUUM PUMP OF THE DRY PUMP TYPE

摘要

本发明系关于一种乾式帮浦的多段式真空帮浦，其包含多个抽泵阶段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)，其各自具有一入口(7)及一出口(8)，该等抽泵阶段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)系以串接方式被安装在该真空帮浦的一抽吸埠(4)和一排放埠(5)之间，其特征在于该真空帮浦进一步包含至少一阀，其被建构来将来将压力从一抽泵阶段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)宣泄掉，该阀被设置在该真空帮浦的上部，和该抽泵阶段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)的入口(7)在同一侧。