用于工件分离的方法及装置及藉此制造的物品;METHOD AND APPARATUS FOR SEPARATION OF WORKPIECES AND ARTICLES PRODUCED THEREBY

摘要

本发明涉及一种用于自一共同基板分离一工件之方法。该方法包括以下步骤：提供该工件；在一射束源中产生一雷射脉冲束，该雷射脉冲束系组配来修改该工件的一部分；基于该工件之一特征测定用于建立一修改区的一深度；以及修改该工件内之复数个区以形成复数个修改区。修改复数个区包括：将来自该射束源之一输出的该雷射脉冲束导向至该工件上；引起该工件与该射束源之该输出之间的相对运动，同时将该雷射脉冲束导向至工件上；以及在产生大量脉冲之后修改该射束之该脉冲的一特征，其通常相应于建立该修改区至经测定的该深度。