涂布液塡充方法、狭缝喷嘴、吐出口封口构件及狭缝喷嘴单元

摘要

本发明提供有助于提高涂膜品质的涂布液填充方法。该涂布液填充方法是将对基板表面涂布涂布液的狭缝喷嘴的内部的气体吐出并填充涂布液的方法，狭缝喷嘴具备：涂布液供给口；涂布液吐出口；歧管，与供给口连通，用于将涂布液贮存到狭缝喷嘴内部；液体通路，与歧管连通，用于使涂布液向狭缝喷嘴的吐出口流动；以及通气孔，用于排除歧管内的气体，该涂布液填充方法具有在从供给口向狭缝喷嘴内部的涂布液的送液中，将吐出口设为关闭的状态的吐出口封口步骤和将通气孔设为开放的状态的通气孔开放步骤。