红外光学温度测量装置、方法及MOCVD系统

摘要

本发明涉及一种红外光学温度测量装置、方法及MOCVD系统，该红外光学温度测量装置仅包括温度测量通道，有效简化了红外光学温度测量装置的结构和测温操控时的复杂程度。所述温度测量通道包括：光学处理模块，用于在薄膜生长过程中收集以及过滤被测量对象辐射的红外光信号；信号处理模块，用于将经过过滤的红外光信号转换为电信号，以及将该电信号转换为数字信号，并直接将该数字信号作为温度测量结果输出，由于温度测量通道中的光学处理模块过滤后得到的红外光信号的光谱宽度大于等于50纳米，能够有效减弱红外光信号的相干性，从而减小因为薄膜干涉造成的温度测量结果的波动，提高温度测量的准确性。

主权项

一种薄膜生长过程中的红外光学温度测量装置，其特征在于，该装置仅包括温度测量通道，所述温度测量通道包括：光学处理模块，用于在薄膜生长过程中收集以及过滤被测量对象辐射的红外光信号，其中过滤后得到的红外光信号的光谱宽度大于等于50纳米；信号处理模块，用于将经过过滤的红外光信号转换为电信号，以及将该电信号转换为数字信号，并直接将该数字信号作为温度测量结果输出。