异物检测装置

摘要

本发明提供异物检测装置，其能够检测在连续流动的试样中包含的特定金属异物。该异物检测装置具有：X射线源(2)，其对在一定方向上移动的试样(S)照射原级X射线(X1)；平行多毛细管(3)，其是至少在试样的移动方向上排列多个毛细管(3a)而构成的，取出从被照射原级X射线的试样产生的次级X射线的一部分平行成分，射出平行的次级X射线(X2)；分光元件(4)，其从平行的次级X射线分光出特定的荧光X射线(X3)；TDI传感器(5)，其接收荧光X射线；以及控制部(C)，其对TDI传感器进行控制，检测与荧光X射线对应的异物(S1)，控制部使TDI传感器的电荷转移的方向和速度与试样的移动方向和速度一致，对TDI传感器接收到的荧光X射线的亮度值进行累计。

主权项

一种异物检测装置，其特征在于，该异物检测装置具有：X射线源，其对在一定方向上移动的试样照射原级X射线；平行二维隙缝，其是至少在所述试样的移动方向上排列多个隙缝而构成的，取出从被照射所述原级X射线的所述试样产生的次级X射线的一部分平行成分，射出平行的次级X射线；分光元件，其从所述平行的次级X射线分光出特定的荧光X射线；TDI传感器，其接收所述荧光X射线；以及控制部，其对所述TDI传感器进行控制，检测与所述荧光X射线对应的异物，所述控制部使所述TDI传感器的电荷转移的方向和速度与所述试样的移动方向和速度一致，对所述TDI传感器接收到的所述荧光X射线的亮度值进行累计。