扫描式UV-LED曝光装置

摘要

一种扫描式UV-LED曝光装置，包括曝光单元、UV-LED照明单元及循环周期移动环，是运用一以固定速率做周期循环的UV-LED曝光光源，对大面积目标区域进行扫描曝光制程时不需停止移动，达到可将曝光光源不断循环重复利用而增加能量使用效率的目的，并以错位排列增加发光二极管数组光源对于辐射照度的均匀性，以增加曝光均匀性，进而有效提高产品良率；此外，本发明透过上下曝光台与循环周期移动环的结构设计，可使装置体积缩小，节省生产空间与能源消耗而降低生产成本，利用循环周期移动环带动发光二极管数组光源，使工件在上下曝光台与循环周期移动环之间充分利用空间而可同时进行上下曝光台的曝光，可节省能源并有效地相对增加产速，以提高生产效能。

主权项

一种扫描式UV‑LED曝光装置，包括曝光单元，其特征在于，还包括UV‑LED照明单元及循环周期移动环，其中，该曝光单元包含一组彼此间隔的上曝光台与下曝光台，该上下曝光台相对应的两平面用以置放涂布有光阻层的基板，该光阻层由光敏材料组成形成于该基板之上，并以置放该基板的两平面作为线性目标曝光区域；该UV‑LED照明单元由二维方向布置的发光二极管数组光源组成，且该发光二极管数组光源由数个彼此平行排列的UV‑LED线型灯条构成，而该些UV‑LED线型灯条彼此间相互区隔，每一UV‑LED线型灯条包含数颗直线排列于灯条的纵向区域的发光二极管，且每一UV‑LED线型灯条的纵向与该上、下曝光台的线性目标曝光区域的纵向轴线相互垂直；该循环周期移动环设置于该曝光单元中该上曝光台及该下曝光台间隔的中央位置，且其外侧设置以间隔铺设该UV‑LED线型灯条所组成的发光二极管数组光源，该循环周期移动环于进行曝光制程时无需停止，而以一固定速率旋转，移动环外侧该UV‑LED线型灯条所组成的发光二极管数组光源，以利该发光二极管数组光源以循环扫描方式进行该上、下曝光台的线性目标曝光区域的曝光。