多电极ＰＥＣＶＤ来源;MULTI-ELECTRODE PECVD SOURCE

摘要

本发明之实施例大体上是关于在电浆制程中产生电浆的方法与设备。该方法与设备大体上包含复数个电极。该些电极连接至一射频功率源，该射频功率源以使电极彼此相异相位的方式提供功率给该些电极。藉由配置在该些电极之间并耦合至该些电极的电绝缘构件使相邻电极彼此电性隔离。可通过该些电极及/或该些电绝缘构件输送及/或抽出制程气体。基材可保持电浮接，因为电浆可能通过一差动射频源驱动器而与之电容耦合。