| 摘要 |
本发明的课题是在于提升处理能力或试料的处理的效率。其解决手段是具备:片数判定工程,其系判定任意的一片的晶圆从前述卡匣搬出之前存在于搬送路径上之搬送中的前述晶圆的片数是否为既定的値以下;残余处理时间判定工程,其系判定存在于被处理的预定的真空搬送容器内之前述晶圆的残余处理时间与存在于前述搬送路径上之搬送中的前述晶圆的处理时间的合计是否为既定的値以下;及搬送顺序跳过工程,其系于不符合前述片数判定工程或前述残余处理时间判定工程的条件时按照前述搬送顺序来针对比前述任意一片的晶圆还后面的前述晶圆实施前述片数判定工程及前述残余处理时间判定工程,将最初符合该等的工程的条件之前述晶圆换成前述任意一片的晶圆而重新决定其次从前述卡匣搬出的晶圆。 |
