摘要 |
Flusssensor (S1) mit: einer unteren Isolationsschicht (2); einer Vielzahl von Widerstandsschichten (3, 4, 5), wobei die Widerstandschichten (3, 4, 5) ein strukturiertes Heizelement (5) und ein strukturiertes Thermometer (3, 4) beinhalten, und wobei zumindest ein Abschnitt von zumindest einer der Widerstandsschichten (3, 4, 5) eine Leiterbahnkonfiguration aufweist, bei der Widerstandselemente (5a) einer Vielzahl von Widerstandselementen parallel verbunden sind; und einer oberen Isolationsschicht (6), wobei die Widerstandsschichten (3, 4, 5) mit der oberen Isolationsschicht und der unteren Isolationsschicht (2) geschichtet und zwischen diesen angeordnet sind, wobei der Abschnitt zumindest ein Teil des Heizelementes (5) ist, wobei das Thermometer (3, 4) eine im Wesentlichen homogene Leiterbahnbreite aufweist, und die Leiterbahnbreite des Thermometers (3, 4) dieselbe wie die von jedem der Widerstandselemente (5a) ist, und wobei die Breite von jedem der Widerstandselemente (5a) im Wesentlichen dieselbe wie die der anderen Widerstandselemente (5a) ist. |