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<p>Vorrichtung zur Homogenisierung eines Laserstrahls (100), umfassend ein erstes Substrat (1) mit einem ersten Linsenarray, das eine Mehrzahl von Zylinderlinsenmittel (3, 3') umfasst, sowie ein zweites Substrat (2) mit einem zweiten Zylinderlinsenarray, das im Strahlweg hinter dem ersten Substrat (1) angeordnet ist und eine Mehrzahl von Zylinderlinsenmittel (3, 3') umfasst, wobei jedem Zylinderlinsenmittel (3, 3') des ersten Linsenarrays genau ein Zylinderlinsenmittel (4, 4') des zweiten Linsenarrays zugeordnet ist, und wobei die Mittenabstände (p1) der Zylinderlinsenmittel (3, 3') des ersten Linsenarrays größer als die Mittenabstände (p2) der Zylinderlinsenmittel (4, 4') des zweiten Linsenarrays sind, wobei ein Linsenscheitel eines zentralen Zylinderlinsenmittels (3') des ersten Linsenarrays mit einem Linsenscheitel des diesem zugeordneten zentralen Zylinderlinsenmittels (4') des ersten Linsenarrays fluchtet und die Linsenscheitel der übrigen Zylinderlinsenmittel (4) des zweiten Linsenarrays und die Linsenscheitel der ihnen zugeordneten Zylinderlinsenmittel (3) des ersten Linsenarrays ausgehend von der Mitte des zweiten Linsenarrays einen nach außen zunehmenden Scheitelversatz aufweisen.</p> |
