发明名称 用于控制扫描探针显微镜的方法及装置
摘要 本发明涉及一种控制具有用于与样本(4)相互作用的尖端(21)的探针(2)以及用于保持所述样本(4)或所述探针(2)的纳米扫描仪(1)的扫描探针显微镜的方法,所述方法包括的步骤有:监测所述压电元件(1)沿第一方向(R)的伸展,所述尖端(21)延所述第一方向(R)朝向所述样本移动,以及当所述纳米扫描仪(1)显示伸展低于或高于阈值时,通过附加致动器(3)调节所述探针(2)沿所述第一方向(R)的水平面。本发明进一步涉及一种用于控制扫描探针显微镜的装置(100)。
申请公布号 CN104067133A 申请公布日期 2014.09.24
申请号 CN201280067771.1 申请日期 2012.12.12
申请人 巴塞尔大学 发明人 玛利亚·波罗蒂内克;马科·罗帕里克;罗德里克·YH·利马
分类号 G01Q10/06(2006.01)I;B82Y35/00(2006.01)I 主分类号 G01Q10/06(2006.01)I
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人 谢顺星;张晶
主权项 一种控制具有用于与样本(4)相互作用的尖端(21)的探针(2)以及用于保持所述样本(4)或所述探针(2)的纳米扫描仪(1)的扫描探针显微镜的方法,所述方法包括的步骤有:监测所述纳米扫描仪(1)沿第一方向(R)的伸展,所述尖端(21)延所述第一方向(R)朝向所述样本移动,以及当所述纳米扫描仪(1)显示伸展低于或高于阈值时,通过附加致动器(3)调节所述探针(2)沿所述第一方向(R)的水平面。
地址 瑞士巴塞尔