利用静电悬浮的基板移送装置

摘要

本发明旨在提供一种当需要在半导体、显示装置等的各种制造工序中移送基板时，无机械式接触地移送基板的基板移送装置。根据所述目的，本发明提供一种基板移送方法及装置，在将移动基板的路径上安装轨道，在所述轨道上相互隔开地形成多个导电体区域，在将沿着所述轨道进行移送的基板上附着或涂布导电体，向在轨道上形成的导电体接入电压，轨道的导电体带电并生成的静电场使处于附近的基板上的导电体带感应电荷，引力在所述轨道与基板中相互作用，从而使基板悬浮到轨道侧，在如此悬浮的状态下，使基板不接触轨道，在保持既定距离的同时，沿著轨道滑动。

主权项

一种利用静电悬浮的基板移送装置，作为移送基板的装置，其特征在于，包括：固定轨道，其形成一个以上的导电体；基板，其形成一个以上的导电体；以及电压接入设备，其在轨道侧导电体与基板侧导电体之间生成电位差；并且，为了借助于所述接入的电压，使轨道侧导电体和基板侧导电体带有电荷，利用作用于带电的电荷之间的静电力，使基板悬浮于空中，具备：间隔保持设备，其与轨道保持间隔，使得不接触轨道；驱动设备，其使基板沿着所述轨道移送；以基板与轨道保持间隔的悬浮状态移送基板。