有机电致发光元件制造装置及有机电致发光元件的制造方法

摘要

本发明提供用于制造发光亮度更均匀的有机电致发光元件的装置。涉及有机电致发光元件制造装置，从多个蒸镀单元(1)通过蒸镀在所输送的被蒸镀体(10)上依次层叠薄膜层(6)，形成有机层(13)。各蒸镀单元(1)具有：蒸镀源(2)，放射用于形成薄膜层(6)的蒸镀材料；筒状体(3)，朝向被蒸镀体(10)放出从蒸镀源(2)放射的蒸镀材料。该筒状体具有放出所述蒸镀材料的开口部。该开口部形成为能够根据放出量调整构造来调整所述蒸镀材料的放出量分布。所述多个蒸镀单元(1)具有：凸型分布蒸镀单元(1a)，使通过放出量调整构造(50)被调整后的薄膜层(6)的膜厚分布成为凸形状；凹型分布蒸镀单元(1b)，使通过放出量调整构造(50)被调整后的薄膜层(6)的膜厚分布成为凹形状。本发明能够使通过蒸镀而层叠的层叠体的厚度接近均匀，使发光亮度更均匀。

主权项

一种有机电致发光元件制造装置，从多个蒸镀单元通过蒸镀在所输送的被蒸镀体上依次层叠薄膜层来形成有机层，其特征在于，所述多个蒸镀单元中的各蒸镀单元具有：蒸镀源，放射用于形成所述薄膜层的蒸镀材料；以及筒状体，被加热成使所述蒸镀材料气化的温度，朝向被蒸镀体放出从所述蒸镀源放射的所述蒸镀材料，该筒状体具有放出所述蒸镀材料的开口部，该开口部形成为能够根据放出量调整构造来调整所述蒸镀材料的放出量分布，所述多个蒸镀单元具有：凸型分布蒸镀单元，使通过所述放出量调整构造被调整后的所述薄膜层的膜厚分布成为凸形状；凹型分布蒸镀单元，使通过所述放出量调整构造被调整后的所述薄膜层的膜厚分布成为凹形状。