复合基板

摘要

本实用新型涉及复合基板（10），其具备压电基板（12）和支撑基板（14）。压电基板（12）和支撑基板（14）的相互的定位平面（12a）、（14a）所呈的角度θ为2°～60°。另外，在沿着相互的连接面的方向中，将沿压电基板（12）的定位平面（12a）的方向设为第1方向，将与第1方向垂直的方向设为第2方向时，相互的中心（12b）、（14b）在第1方向上的距离即第1距离D1、在第2方向上的距离即第2距离D2的其中一个为超过压电基板（12）的直径的0%且在1%以下，另一个为压电基板（12）的直径的0%以上1%以下。压电基板（12）和支撑基板（14）通过含有Ar的非晶体层而连接。支撑基板（14）是硅制的，并且在方位（111）面上与压电基板（12）连接。

主权项

一种复合基板，其特征在于，包括：压电基板，所述压电基板具备定位平面，并且其线性热膨胀系数和杨氏模量中的至少一个具有各向异性；以及支撑基板，所述支撑基板具备定位平面，并与所述压电基板连接，其线性热膨胀系数和杨氏模量中的至少一个具有各向异性，所述压电基板和所述支撑基板以下述方式进行连接：在沿着相互的连接面的方向中，将沿所述压电基板的定位平面的方向设为第1方向，将与该第1方向垂直的方向设为第2方向时，各种的中心在所述第1方向上的距离即第1距离D1与在所述第2方向上的距离即第2距离D2中的其中一个为超过压电基板的直径的0%且在1%以下，另一个为压电基板的直径的0%以上1%以下。