在整料衬底上形成涂层的涂覆装置和方法

摘要

一种涂覆装置，包括用于在涂层涂敷到整料衬底上时容纳各种形状和大小的整料衬底的模块化接口和衬底接收器。整料衬底由可弹性变形套管侧向围绕，该可弹性变形套管防止真空在真空施加到整料衬底的两相反端时从整料衬底侧漏出去，从而免除对庞大真空室的需要。涂覆装置还包括使多余的前体液能从整料通道就地排出而不使用额外的旋干步骤的阀门和控制装置。提供了用于使用涂覆装置的涂覆方法。

主权项

一种用于在整料衬底上形成涂层的涂覆装置，所述涂覆装置包括：液态前体源，所述液态前体源与通用入口接口流体连通；通用出口接口，所述通用出口接口与抽吸系统流体连通；可弹性变形套管，所述可弹性变形套管侧向围绕所述整料衬底以形成装好套管的整料衬底，且防止真空在所述真空施加到未被所述可弹性变形套管围绕的所述整料衬底的两相反端时从所述整料衬底侧漏出去；入口衬底接收器，所述入口衬底接收器定位在所述通用入口接口和所述装好套管的整料衬底之间；以及出口衬底接收器，所述出口衬底接收器定位在所述通用出口接口和所述装好套管的整料衬底之间，其中：所述装好套管的整料衬底可拆卸地插在所述入口衬底接收器和所述出口衬底接收器之间；所述入口衬底接收器容纳所述可弹性变形套管的套管入口端；所述出口衬底接收器容纳所述可弹性变形套管的套管出口端；以及所述整料衬底的整料通道与所述通用入口接口和所述通用出口接口流体连通。