一种解决湿法刻蚀机刻蚀槽循环冒泡的装置

摘要

本实用新型涉及一种解决湿法刻蚀机刻蚀槽循环冒泡的装置。目前，光伏行业湿法刻蚀机台（RENA）会有一些设计上的缺陷，导致蚀刻槽循环冒泡。蚀刻槽循环冒泡，气泡破裂飞溅到产品表面，造成不良品，影响产品品质。本实用新型通过对原循环管道进行改造，在循环主管道上部引入支管接入储液罐中，达到将气泡引流的目的，避免了气泡对产品品质的影响。

主权项

一种解决湿法刻蚀机刻蚀槽循环冒泡的装置，硅片（1）漂浮在刻蚀槽（7）中药液上并通过滚轮（2）运输完成背面腐蚀及周边刻蚀；刻蚀槽（7）通过循环主管（6）与储液罐（5）连接，刻蚀槽（7）的一侧设有溢流槽（3），溢流槽（3）通过回流管（4）与储液罐（5）连接，循环主管（6）上设有循环泵；其特征在于：循环主管（6）上部接入循环支管（8），循环支管（8）的另一端与储液罐（5）连接。