一种超高真空样品转移设备

摘要

本实用新型公开了一种超高真空样品转移设备，包括：样品转移腔，所述样品转移腔通过超高真空维持装置保持超高真空环境；所述样品转移腔进一步包括：真空腔，由六根真空管路端部并联焊接而成，六根真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰，包括第一法兰、第二法兰、第三法兰、第四法兰、第五法兰、第六法兰；手阀，与所述第一法兰相密封连接；离子泵，与所述第三法兰密封连接；传样设备，与所述第二法兰密封连接；储藏室，与所述第五法兰密封连接；观察窗，与所述第四法兰密封连接；密封装置，与所述第六法兰密封连接。这样能保证样品在超高真空系统间转移时一直处于超高真空环境中，防止外界对样品的污染。

主权项

一种超高真空样品转移设备，其特征在于，包括：样品转移腔，所述样品转移腔通过超高真空维持装置保持超高真空环境；所述样品转移腔进一步包括： 真空腔，由六根真空管路端部并联焊接而成，六根真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰，包括第一法兰、第二法兰、第三法兰、第四法兰、第五法兰、第六法兰； 手阀，与所述第一法兰相密封连接； 离子泵，与所述第三法兰密封连接； 传样设备，与所述第二法兰密封连接； 储藏室，与所述第五法兰密封连接； 观察窗，与所述第四法兰密封连接； 密封装置，与所述第六法兰密封连接。