基于能量损失聚焦成像的带电粒子照相装置

摘要

基于能量损失聚焦成像的带电粒子照相装置，包括束流传输线和光学成像系统，束流传输线分成轴对称分布的前半段和后半段，所述光学成像系统位于束流传输线末端，所述前半段的传输矩阵为六阶矩阵A：传输矩阵A满足色散消除条件：A₁₂=0、A₂₆=0、A₂₁=0、A₃₄=0、A₄₃=0；前、后下标分别表示该元素所在的行、列。本实用新型的有益效果是：利用偏转磁铁和四极磁铁组成消色散成像系统，形成了聚焦成像的功能，同时在能量甄别平面上设置能量准直器，通过带电粒子的能量损失形成图像的对比度。

主权项

基于能量损失聚焦成像的带电粒子照相装置，包括束流传输线和光学成像系统，其特征在于，束流传输线分成轴对称分布的前半段和后半段，所述光学成像系统位于束流传输线末端；所述前半段由包括能量准直器的第二聚焦段，位于第二聚焦段前、后的第一聚焦段和第三聚焦段组成，所述第一聚焦段和第二聚焦段之间、第二聚焦段和第三聚焦段之间分别设置有第一偏转磁铁和第二偏转磁铁，所述前半段的传输矩阵为六阶矩阵A：   传输矩阵A满足色散消除条件：A₁₂=0、A₂₆=0、A₂₁=0、A₃₄=0、A₄₃=0 ；前、后下标分别表示该元素所在的行、列；通过在各个聚焦段设置四极磁铁使得传输矩阵A满足色散消除条件。