减小多个柱状电子束测试系统中的串扰的方法

摘要

本发明揭示一种用以减少或消除多个电子束之间串扰的方法与设备。多个电子束在大面积基板上产生多个相邻的测试区域，其中来自一测试区域的二次电子可以在一相邻的测试区域中被检测出。在一实施例中，主要束发射以及来自该主要束的二次电子的检测的定时被控制，以消除或减少来自另一主要束的二次电子的检测的可能性。

主权项

一种电子束测试系统，包含：多个电子束柱，其包含：一个或多个奇数柱与一个或多个偶数柱，每一个电子束柱都包括消隐系统与检测器；以及同步化装置，其具有主时钟信号，该主时钟信号定义第一触发事件与第二触发事件，其中每一个电子束柱的消隐系统与检测器与该主时钟信号相通，并且一个或多个奇数柱的消隐系统在第一触发事件处被触发，且一个或多个偶数柱的消隐系统在第二触发事件处被触发，或反之亦然。