用于对物体的表面成像的方法与装置

摘要

一种用于对表面成像的方法，其包括用初始带电粒子束以第一扫描速率扫描所述表面的第一区域，以便从所述第一区域产生第一二次带电粒子束；以及用所述初始带电粒子束以比所述第一扫描速率快的第二扫描速率扫描所述表面的第二区域，以便从所述第二区域产生第二二次带电粒子束。所述方法还包括在设置成产生回应所述束的信号的检测器处接收所述第一二次带电粒子束和所述第二二次带电粒子束；以及回应所述信号形成所述第一区域和所述第二区域的图像。

主权项

一种用于对一物体的一表面成像的方法，该方法包含以下步骤：扫描步骤，用一带电粒子束扫描该表面的至少一个区域，其中在该扫描步骤的一部分期间，该带电粒子束在一个方向上沿一一维粒子束路径扫描；改变扫描速率步骤，于在该一个方向上沿该一维粒子束路径扫描的该扫描步骤期间内，将该带电粒子束的一扫描速率从一第一非零扫描速率改变成一第二非零扫描速率，该第一扫描速率不同于该第二扫描速率；侦测步骤，侦测一二次电子束，该二次电子束包含二次电子，该等二次电子系由该带电粒子束与该表面之间的一互动产生；以及产生步骤，回应于所侦测到的该二次电子束，产生该表面的该至少一个区域的一图像，其中在沿该一维粒子束路径扫描的该扫描步骤期间内，该扫描在该一维粒子束路径的一点上从该第一扫描速率转换成该第二扫描速率，且该点的一位置系基于该二次电子束中的一电流转换，该电流转换系于沿该一维粒子束路径扫描的该扫描步骤之前所测量。