微影装置、元件制造方法、清洁系统及清洁图案化元件的方法

摘要

本发明揭示一种微影装置，该微影装置包括：一照明系统，该照明系统经组态以调节一辐射光束；及一支撑结构，该支撑结构经组态以支撑一图案化元件。该图案化元件经组态以将一图案赋予至该辐射光束。该装置包括一图案化元件清洁系统，该图案化元件清洁系统经组态以将一静电力提供至在该图案化元件上且藉由该辐射光束而带电之污染物粒子，以便自该图案化元件移除该等污染物粒子。

主权项

一种微影装置，其包含：一照明系统，该照明系统经组态以调节一辐射光束；一支撑结构，该支撑结构经组态以支撑一图案化元件，该图案化元件经组态以将一图案赋予至该辐射光束；一投影系统，其经组态以将经由该图案化元件图案化的该辐射光束投影至一基板上；该装置经组态以使该辐射光束通过邻近于该图案化元件的气体，以产生一电浆；及一图案化元件清洁系统，该图案化元件清洁系统经组态以将一静电力(electrostatic force)提供至在该图案化元件上的污染物粒子(contaminant particles)，该等污染物粒子由在该辐射光束产生该电浆之形成期间所释放的电子充电(electrically charged)，以便自该图案化元件移除该等污染物粒子。