基板处理装置

摘要

一种基板处理装置，其于基板处理单元11与收纳器收容搬送单元7之间具备收纳器收容单元9，藉由搬送机械手19而进行装载口5与料架排33之间的搬送。藉由搬送机械手31，而进行料架排33、料架排69及载置部27之间的搬送。可使装载口5与料架排33之间的搬送，以及料架排69、料架排33以及载置部27之间的搬送大致并行。由此，可提高FOUP3之搬送效率，且提升处理量。而且，于收纳器收容搬送单元7与基板处理单元11之间仅配置收纳器收容单元9，则可抑制装置尺寸之增加，且可增加FOUP3之收容数量而发挥装置之高处理量。

主权项

一种基板处理装置，其系对基板进行处理者，上述装置包含以下要素：基板处理单元，其用以对基板进行处理；收纳器收容单元，其与上述基板处理单元并排设置，对收纳基板之收纳器进行收容；收纳器收容搬送单元，其与上述收纳器收容单元并排设置，对收纳基板之上述收纳器进行收容及搬送；以及第1载置部，其与上述收纳器收容搬送单元并排设置，并载置上述收纳器；而上述收纳器收容单元包括保持上述收纳器之复数个第1料架，且上述收纳器收容搬送单元包括：复数个第2料架，其保持上述收纳器；第2载置部，其配置于上述基板处理单元与上述复数个第2料架之间，并载置上述收纳器；第1搬送部，其于上述第1载置部与上述复数个第2料架之间搬送上述收纳器；以及第2搬送部，其于上述复数个第1料架、上述复数个第2料架及上述第2载置部之间搬送上述收纳器，并且将在上述第2载置部从收纳器取出基板并搬送至上述基板处理单元后而变空之该收纳器，搬送至上述复数个第1料架中之任一者。