| 发明名称 |
双折射测定装置、双折射测定方法、薄膜生产系统及薄膜生产方法 |
| 摘要 |
本发明之课题系于制造程序内正确地测定薄膜之双折射特性，且对于程序条件进行反馈。本发明之解决手段，系含水率测定部(81)进行试料(16)之含水率的测定、厚度测定部(82)进行试料(16)之厚度的测定及第1偏光特性测定部(11)与第2偏光特性测定部(17)进行试料(16)之双折射特性的测定。轴/位相差算出机构(61)由第1偏光特性测定部(11)及第2偏光特性测定部(17)之测定结果而算出试料(16)的位相差。此外，以厚度测定部(82)所测定的厚度值而将含水率测定部(81)所测定的含水率规格化，并使用预先求得之含水率与位相差之相关式而补正经算出的位相差。依所算出的位相差而对程序条件进行反馈。 |
| 申请公布号 |
TWI453396 |
申请公布日期 |
2014.09.21 |
| 申请号 |
TW098109316 |
申请日期 |
2009.03.23 |
| 申请人 |
富士软片股份有限公司 日本 |
发明人 |
重田文吾;池端康介;稻村隆宏 |
| 分类号 |
G01N21/23 |
主分类号 |
G01N21/23 |
| 代理机构 |
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代理人 |
何金涂 台北市大安区敦化南路2段77号8楼 |
| 主权项 |
一种双折射测定装置，其特征在于包含有：位相差测定机构，系将光入射于被测定试料并测定前述被测定试料之位相差；含水率测定机构，系测定前述被测定试料之含水率；及补正机构，系依前述所测定出之含水率而补正前述位相差测定机构的测定值。 |
| 地址 |
日本 |
