| 摘要 |
1. Способ получения трихлорсилана путем взаимодействия кремния с газообразным HCl при температуре между 250° и 1100°С, и абсолютном давлении в 0,5-30 атм в реакторе с псевдоожиженным слоем, в реакторе с перемешиваемым слоем или в реакторе со сплошным слоем, отличающееся тем, что кремний, подаваемый в реактор, содержит между 40 и 10000 ч/млн бария по массе и, необязательно, 40-10000 ч/млн меди по массе.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что кремний, подаваемый в реактор, содержит между 60 и 1000 ч/млн бария по массе.3. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что барий и, необязательно, медь, являются сплавленными с кремнием.4. Способ по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что барий или соединения бария механически смешивают с кремнием перед подачей кремния в реактор.5. Способ по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что медь или соединения меди механически смешивают с кремнием перед подачей кремния в реактор.6. Способ по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что барий или соединения бария добавляют в реактор отдельно от кремния.7. Способ получения трихлорсилана путем взаимодействия кремния с газообразным HCl при температуре между 250° и 1100°С, и абсолютном давлении в 0,5-30 атм в реакторе с псевдоожиженным слоем, в реакторе с перемешиваемым слоем или в реакторе со сплошным слоем, отличающийся тем, что барий или соединения бария и, необязательно, медь или соединения меди подают в реактор в количестве, необходимом для поддержания содержания бария в реакторе до между 100 и 50000 ч/млн по массе и для поддержания содержания меди в реакторе в количестве между 200 и 50000 ч/млн по массе.8. Способ по п.7, отличающийся тем, что барий или соединения бария подают в реактор в количестве, необходимом для поддерж� |
