发明名称 Verfahren für die Ausbildung von Biochips sowie Biochips mit nicht-organischen Kontaktauflagen für einen verbesserten Wärmehaushalt
摘要 <p>Die vorliegende Offenbarung beschreibt Biochips sowie Verfahren für die Herstellung von Biochips. Das Verfahren umfasst das Verbinden dreier Anteile: ein transparentes Substrat, ein erstes Substrat mit darin ausgebildeten mikrofluidischen Kanälen, sowie ein zweites Substrat. Durchgangslöcher als Einlass und Auslass sind in dem transparenten Substrat oder dem zweiten Substrat ausgebildet. Verschiedene nicht-organische Kontaktauflagen mit Trägermedien für die Anlagerung von Biomaterialien werden auf dem ersten und dem zweiten Substrat ausgebildet, bevor diese miteinander verbunden werden. Bei anderen Ausführungsformen wird der mikrofluidische Kanal aus einer Haftschicht zwischen einem transparenten und einem zweiten Substrat mit Kontaktauflagen auf den Substraten gebildet.</p>
申请公布号 DE102013106596(A1) 申请公布日期 2014.09.18
申请号 DE201310106596 申请日期 2013.06.25
申请人 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. 发明人 CHEN, CHING-RAY;LIU, YI-SHAO;CHENG, CHUN-REN;CHENG, CHUN-WEN;CHU, CHIA-HUA;CHANG, ALLEN TIMOTHY;CHANG, YI-HSIEN
分类号 B81C3/00;B81C1/00;G01N35/00;H01L21/50 主分类号 B81C3/00
代理机构 代理人
主权项
地址