基板输送装置、基板处理装置以及基板取出方法

摘要

本发明的基板输送装置、基板处理装置以及基板取出方法提高生产能力。基板输送装置具备基板输送部、基板检测部以及控制装置。基板输送部与能够收容多个基板的盒之间交接基板。基板检测部检测在盒内收容的基板。控制装置控制基板输送部。控制装置具备计算部、验证部以及输送控制部。计算部将基板从预先决定的基准位置向上方或者下方偏移的情况设为正而针对每个基板分别计算出由基板检测部检测出的基板的位置与基准位置之间的偏移量。验证部进行验证由计算部计算出的偏移量中的最大值与最小值的差是否为阈值以下的验证处理。在由验证部验证出最大值与最小值的差为阈值以下的情况下，输送控制部控制基板输送部来使输送控制部从盒取出基板。

主权项

一种基板输送装置，其特征在于，具备：基板输送部，其与能够收容多个基板的盒之间交接上述基板；基板检测部，其检测在上述盒内收容的基板；以及控制装置，其控制上述基板输送部，其中，上述控制装置具备：计算部，其将基板从预先决定的基准位置向上方或者下方偏移的情况设为正而针对每个上述基板分别计算出由上述基板检测部检测出的上述基板的位置与上述基准位置之间的偏移量；验证部，其进行验证由上述计算部计算出的偏移量中的最大值与最小值的差是否为第一阈值以下的验证处理；以及输送控制部，其在由上述验证部验证出上述最大值与上述最小值的差为第一阈值以下的情况下，控制上述基板输送部来使上述基板输送部从上述盒取出上述基板。