用于对发光器件进行特征分析的方法和系统

摘要

本发明描述了一种用于对发光器件进行特征分析的方法和系统，其对发光器件的物理特性进行特征分析，物理特性例如是在固态发光器件的衬底上生长的晶体结构或沉积的薄膜的厚度、一致性、极化、和/或缺陷尺寸和位置（例如缺陷密度分布）。在此所述的实施方式一般包括：用能源对发光器件进行激发；对在衬底上生长的晶体结构或沉积的薄膜所发射的光能进行分析。

主权项

一种对固态发光器件进行特征分析的方法，其特征在于，包括以下步骤：提供能源以激发固态发光器件的发光区域；收集发光区域所发射的光子；获得发光区域所发射的光子的总光谱能量分布；通过对总光谱能量分布进行反卷积来获得至少一个颜色参数；以及基于至少一个颜色参数对发光区域的物理特性进行特征分析。