接触式薄板材尺寸自动测量仪

摘要

本发明提供一种接触式薄板材尺寸自动测量仪，包括测头、含有数控、计算模块的控制系统、沿三维坐标运动的轴系统，所述测头包括导轨模、导芯，所述导芯穿过导轨模，所述导轨模含有进气口和导气槽，其内部可形成空气导轨，所述导轨顶部设有进气口，底部连接有弹簧，所述弹簧位于导芯、底板之间，其下端连接有探针，所述导芯顶部连接有光栅尺，其与激光位移传感器连接，所述激光位移传感器连接至控制系统。该测量仪的测头采用气动控制技术，通过改变导芯内外气压而实现测量力的精确调节，既可调整测量力数值，又能保证测量力恒定；同时利用三维运动平台并结合数控技术，实现了全方位、自动化测量，因此能够提高薄板材类元件表面尺寸的测量精度。

主权项

一种接触式薄板材尺寸自动测量仪，其特征在于，包括：控制系统，其包括数控模块、计算模块、显示模块；轴系统，其包括固定在水平面上的Y轴、沿水平面垂直安装在Y轴上并沿Y轴运动的X轴、以垂直于水平面方向安装在X轴上并沿X轴运动的Z轴，所述轴系统与控制系统中的数控模块连接；测头，其安装在Z轴上并沿Z轴运动，包括导轨模、导芯，所述导芯穿过导轨模，所述导轨模含有导轨模进气口，其内表面设有导气槽，充气后可在导轨模内表面与导芯外表面之间形成空气导轨，所述导芯内部为空心，其顶部设有用于向内部充气的导芯进气口，其底部还连接有弹簧，所述弹簧设置在导芯和测头底部的底板之间，其下端连接有向下穿过底板的探针，所述导芯顶部还连接有光栅尺，其与激光位移传感器平行连接，所述激光位移传感器与控制系统中的计算模块连接。