磁性轴承、旋转台以及反射电子束光刻设备

摘要

本发明涉及一种具有旋转轴（106）的磁性轴承（108），其中，所述磁性轴承包括：圆柱形转子（116），其包括铁磁性材料（118，338，440），其中圆柱形转子具有对称轴（114），圆柱形转子具有内半径（124），圆柱形转子具有顶面（128）；静态轮毂（120），其中静态轮毂具有从该静态轮毂突出并且被定位成与所述顶面相邻的悬挑（122）；抬升磁性致动器设备（130），其用于控制所述顶面与悬挑之间的距离（126）；径向磁性致动器设备（132），其用于控制内半径与旋转轴之间的距离（136）。

主权项

一种具有旋转轴（106）的磁性轴承（108），其中，所述磁性轴承包括：－圆柱形转子（116），其包括外套圈和由层压铁磁性材料（118，338，440）构成的内圆柱体，其中圆柱形转子具有对称轴（114），其中圆柱形转子在铁磁性材料的内侧边缘处具有内半径（124），其中圆柱形转子的铁磁性材料具有处在与对称轴正交的平面内的顶面（128）；－静态轮毂（120），其中静态轮毂具有从该静态轮毂突出并且被定位成与所述顶面相邻的悬挑（122）；－抬升磁性致动器设备（130），其用于控制顶面与悬挑之间的距离（126）；－径向磁性致动器设备（132），其用于控制内半径与旋转轴之间的距离（136），并且被安装在与铁磁性材料的内侧边缘相邻的静态轮毂上的悬挑（122）下方，其中，抬升磁性致动器设备（130）包括至少一个能够支撑圆柱形转子克服重力并且与铁磁性材料相邻的永磁体（544），并且其中抬升磁性致动器设备（130）以及/或者径向磁性致动器设备（132）包括至少一个混合磁体（542，1399），其中该混合磁体包括：－铁磁性核芯（548），其中所述铁磁性核芯中切割有两道沟槽（550），从而使其剖面呈E形，其中在两道沟槽之间有中间节段（552），其中该中间节段的外表面（554）的法线（556）指向远离铁磁性核芯；－电线线圈（546），其被适配成用于在电流经过电线时生成磁场（676），其中所述线圈位于所述两道沟槽内并且围绕所述中间节段；－永磁体（544），其被放置在外表面上，其中磁化方向与外表面的法线对准。