多轴速度传感器

摘要

一种微机电系统（MEMS）装置，包括至少两个悬挂在衬底（30）之上的速度传感器（20、50），并且被配置为平行于所述衬底（30）的表面（40）振荡。与所述速度传感器（20、50）中的至少一个通信的驱动元件（156、158）提供显示驱动频率的驱动信号(168)。一个或多个耦合弹簧结构（80、92、104、120）互连所述速度传感器（20、50）。所述耦合弹簧结构在由所述耦合弹簧结构决定的驱动方向启动速度传感器（20、50）的振荡。用于速度传感器（20）的所述驱动方向是与第一轴（28）相关联的旋转驱动方向（43），以及用于速度传感器（50）的所述驱动方向是与垂直于所述第一轴（28）的第二轴（24、26）相关联的平移驱动方向（64）。

主权项

一种微机电系统MEMS装置，包括：第一速度传感器；第二速度传感器，所述第一和第二速度传感器被配置为平行于平面表面振荡；驱动元件，与所述第一和第二速度传感器中的至少一个通信，用于提供表现驱动频率的驱动信号；以及第一耦合弹簧结构，互连所述第一和第二速度传感器，所述第一耦合弹簧结构在由所述耦合弹簧结构决定的驱动方向上允许所述第一和第二速度传感器以所述驱动频率振荡，其中用于所述第一速度传感器的所述驱动方向是与第一轴相关联的第一驱动方向以及用于所述第二速度传感器的所述驱动方向是与第二轴相关联的第二驱动方向，所述第二轴垂直于所述第一轴。