| 发明名称 | 基板处理装置及其控制系统、收集单元、以及控制方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板处理装置及其控制系统、收集单元、以及控制方法，该基板处理装置具有从构成基板处理装置的各部件收集数据的收集单元，该收集单元至少具有临时存储收集到的数据的缓存器，还具有根据附加在数据上的时刻数据来按时序重新排列的机构。根据本发明，能够提供适当的数据。 | ||
| 申请公布号 | CN102280362A | 申请公布日期 | 2011.12.14 |
| 申请号 | CN201110160201.4 | 申请日期 | 2011.06.07 |
| 申请人 | 株式会社日立国际电气 | 发明人 | 片冈纪彦;森真一郎 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 王茂华;孟祥海 |
| 主权项 | 一种基板处理装置的控制系统，其特征在于，具有从构成基板处理装置的各部件收集数据的收集单元，上述收集单元至少具有临时存储收集到的数据的缓存器，还具有根据附加在上述数据上的时刻数据来按时序重新排列上述数据的机构。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||