发明名称 镀铜溶液及其制造和使用方法
摘要 本发明总体上涉及镀铜溶液及其制造和使用方法。具体而言,本发明包括含有铜离子源和导电盐的镀铜溶液,其中所述镀铜溶液由于基本上不含氯离子而具有1.7~3.5的pH。
申请公布号 CN104047036A 申请公布日期 2014.09.17
申请号 CN201410097867.3 申请日期 2014.03.14
申请人 OMG电子化学有限责任公司 发明人 罗格·伯纳兹;理查德·贝勒马尔
分类号 C25D3/38(2006.01)I;C25D7/12(2006.01)I 主分类号 C25D3/38(2006.01)I
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人 余刚;张英
主权项 一种将铜电镀至基板上的方法,包括:提供基板;和使所述基板与含有铜离子源和导电盐的镀铜溶液接触,其中所述镀铜溶液由于基本上不含氯离子而具有约1.7~约3.5之间的pH。
地址 美国新泽西州