功能元件、功能元件之制造方法、物理量感测器及电子机器;FUNCTIONAL DEVICE, METHOD OF MANUFACTURING THE FUNCTIONAL DEVICE, PHYSICAL QUANTITY SENSOR, AND ELECTRONIC APPARATUS

摘要

本发明提供一种实现高感度化、制造效率之改善、低成本化、高可靠性化之至少一者之功能元件、功能元件之制造方法、物理量感测器、及具有该物理量感测器之电子机器。本发明之功能元件1包含：绝缘基板2；可动部33；可动电极指361~365，其设置于可动部33；及固定电极指381~388，其设置于绝缘基板2上且与可动电极指361~365对向地配置；固定电极指381~388包含：第1固定电极指382、384、386、388，其配置于可动电极指361~365之一侧；及第2固定电极指381、383、385、387，其配置于可动电极指361~365之另一侧；且第1固定电极指与第2固定电极指系彼此分开而配置。