多重入射角半导体度量衡系统及方法;MULTIPLE ANGLES OF INCIDENCE SEMICONDUCTOR METROLOGY SYSTEMS AND METHODS

摘要

本发明揭示一种设备，该设备包含：(i)一亮光源，其用于提供处于具有自一深紫外线波长至一红外线波长之一范围之可选择之多个波长之一照明光束；(ii)照明光学器件，其用于以可选择之入射角(AOI)或方位角(AZ)组及偏光状态将该照明光束引导朝向一样品以提供光谱椭圆偏光量测，其中该照明光学器件包含用于控制处于该等可选择AOI/AZ组中之各者之该照明光束在该样品上之一光点大小之一切趾器；(iii)收集光学器件，其用于将回应于处于该等可选择AOI/AZ组中之各者及偏光状态之该照明光束之来自该样品之一输出光束引导朝向基于该输出光束产生一输出信号或影像之一侦测器；及(iv)一控制器，其用于基于该输出信号或影像表徵化该样品之一特征。