过电压保护元件;OVER-VOLTAGE PROTECTION DEVICE

摘要

本揭露之过电压保护元件包含一基板;一绝缘层,设置于该基板上,该绝缘层具有一凹槽;以及一导体层,设置于该绝缘层上,该导体层具有一第一电极及一第二电极,二者形成一放电通路,且该凹槽位于该放电通路下方。本揭露之过电压保护元件之制备方法包含形成一绝缘层于一基板上;形成一凹槽于该绝缘层之内;形成一光阻图案,其填满该凹槽并凸伸出该绝缘层;形成一导体层于该绝缘层上,该光阻图案分隔该导体层而形成一第一电极及一第二电极;以及去除该光阻图案,藉此该第一电极及该第二电极形成一放电通路,且该凹槽位于该放电通路下方。