微机电系统装置及其制造方法;MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS) DEVICE AND METHOD FOR FORMING THE SAME

摘要

本发明提供了微机电系统装置及其制造方法之数个实施例。于一实施例中,一种微机电系统装置之制造方法,包括:形成具有一第一空穴之一微机电系统晶圆,该第一空穴具有一第一压力;接合一载具晶圆至该微机电系统晶圆之一第一侧,该接合形成一第二空穴,该第二空穴具有一第二压力,该第二压力系大于该第一压力;以及接合一上盖晶圆至该微机电系统晶圆之一第二侧,该第二侧系相对于该第一侧,该接合形成一第三空穴,该第三空穴具有一第三压力,该第三压力系大于该第一压力但少于该第二压力。