监控声音的半导体基板处理系统及方法;ACOUSTICALLY-MONITORED SEMICONDUCTOR SUBSTRATE PROCESSING SYSTEMS AND METHODS

摘要

揭示具有声音监控的半导体基板处理系统。系统包含经调适以在基板上执行处理之处理腔室、处理流体源、将处理流体源与处理腔室耦合之流体管道、及沿着流体管道定位之流控制阀,且调适该流控制阀以为可操作的以控制处理流体源及处理腔室间之处理流体流。系统包含一或更多个声音感测器,该等声音感测器系可操作的以感测杂讯,该等声音感测器耦合至处理流体源、流体管道、流控制阀及声音处理器中的至少一个,该声音处理器经调适以自一或更多个声音感测器接收至少一个信号。提供声音监控方法以作为其他态样。