| 发明名称 |
用于检查刀片的光学感测器组件及包含其之用于切割基板的设备;OPTICAL SENSOR ASSEMBLY FOR INSPECTING KNIFE AND APPARATUS FOR CUTTING SUBSTRATE INCLUDING THE SAME |
| 摘要 |
一种用于检查刀片的光学感测器组件及包含其之用于切割基板的设备被提出。在本发明的一个态样中,提出一种用于切割基板的设备,其包含切割基板的至少一刀片、及透过照射光线到刀片的刀锋以检查刀片是否具有缺陷的至少一光学感测器。 |
| 申请公布号 |
TW201436106 |
申请公布日期 |
2014.09.16 |
| 申请号 |
TW102130166 |
申请日期 |
2013.08.23 |
| 申请人 |
三星显示器有限公司 |
发明人 |
权辰根;许京会;文水龙 |
| 分类号 |
H01L21/78(2006.01);B23Q17/09(2006.01);B23Q17/24(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/78(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>李国光</name><name>张仲谦</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD. 南韩 |
